半导体晶圆拉曼光谱检测体系-卓立汉光-新品

更新时间：2024-10-29  作者: 应力检测

  •拉曼光谱的强度、频移、线宽、特征峰数目以及退偏度与分子的振动能态、转动能态、对称性等严密相关

  使用拉曼光谱568 cm-1方位的特征峰位移动，能够检测GaN晶圆外表应力散布。相似办法还可使用于表征Si/SiC/GaAs等多种半导体。

  结晶率指晶态硅与晶界占非晶态、晶态、晶界总和的质量百分比或体积百分比，是点评结晶硅薄膜晶化作用的一项重要目标。晶化率