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更新时间:2024-11-07 作者: 振动时效去应力
假如说光刻机是人类工业的皇冠,那这儿面的几十块光学镜片便是皇冠上的明珠,他们的完美现已有点超自然了。
最新的EUV光刻机中,最大的一块反射镜直径有1.2米,外表最高崎岖只要0.12nm,相当于原子直径的1/4。
假如将这块镜片扩展到地球这么大,那它外表最高的山峰不超越1.2毫米,这种润滑程度现已迫临物理极限,就算是《三体》中肯定润滑的水滴也就这水平了吧。
简略来说,光刻机便是一台超强照相机,运用极紫外光作为光源,把集成电路复制到芯片上,就像照相机把景色记录在胶片上,可是光刻机生成的极紫外光不能直接用,有必要通过几十次反射优化、过滤杂光,才干成为可用的光源。
而每次反射都会添加差错,这就要求镜面的平坦度极高,有必要比光刻标准还要低上1000倍。此外,每块透镜的方位、姿势、距离都有严厉的要求,比方方位差错有必要小于1nm。
此外,极紫外光光子太软弱,甚至连空气和水都能吸收它,只要镜片满足润滑,才干最大极限下降反射差错,进步芯片制作的精度。
在详细的镜片工艺方面,除了超精细的打磨和抛光,还可能用到了磁流变抛光、离子束抛光等尖端技能,终究才完成了究极的平坦。
这套超高精度的光学体系是德国蔡司公司的独门绝技,每块这样的镜片,都要几十万美元起步,总成本要占到整台光刻机的40%,它也是咱们正在要点霸占的卡脖子技能之一。
在光刻机光学体系方面,国内福晶、腾景等光学公司正在尽力追逐国际先进水平。
近年来,我国在EUV光刻机光源体系的研发上获得了严重打破。尤为振奋人心的是,中科院近期获得的打破性效果——成功研制出国际上最亮的极紫外光源。这一光源,作为高端EUV光刻机的心脏,其重要性显而易见。它的诞生,标志着我国在光刻机核心部件研发上迈出了决定性的一步,也向全国际宣告了我国在光刻机范畴的领先地位。
荷兰阿斯麦的无法之言“再多的封闭都是徒劳无益”,正是对这一现状的深入描写。我国光刻机技能的兴起,不只将重塑全球芯片商场的格式,更将引领全球科学技能工业的新一轮革新。
我国光刻机工业的强势兴起现已势不可挡。随国家对光刻机工业的继续扶持和大基金三期的建立,那些把握了光源、物镜和光学体系等核心技能的企业,都将迎来史无前例的严重前史机会,我国在高端光刻机范畴国产化将指日可下!
尤为值得一提的是,一旦我国成功研制出极紫外光刻机,我国在半导体工业上也会产生打破性开展。传言中的4nm芯片有望在下一年完成量产,这将成为我国芯片工业的又一个重要里程碑。4nm工艺代表着当时最先进的芯片制作技能,它将显着提高芯片的功能和能效,大范围的应用于智能手机、人工智能、物联网等范畴,让我国的人工智能走在国际前列。
此外,根据商场预测,2024年全球光刻机商场规模有望到达295.7亿美元至315亿美元之间,这一明显增加趋势显示了半导体工业欣欣向荣的微弱动力以及光刻机商场随之坚持的稳健增加态势。
在我国商场,跟着半导体工业的加快兴起,对光刻机的需求激增。据统计,2023年我国光刻机产值达124台,而商场需求则高达727台,商场规模已打破160.87亿元。
估计未来几年,跟着国内半导体工业的快速开展和国产代替进程的加快,我国光刻机商场规模将逐渐扩展。咱们一直信任,路虽远,行则将至,事虽难,做则必成。