测量表面粗糙度：白光共聚焦显微镜的优点

更新时间：2024-10-15  作者: 上海五星体育在线高清直播

  表面粗糙度作为衡量表面上的质量的关键指标之一，其测量的准确性和可靠性直接影响到产品的性能和质量。在当今科技快速的提升的时代，随着半导体制造、3C电子、光学加工等行业的持续不断的发展，对表面粗糙度测量仪器的要求也慢慢变得高。SuperView WT3000白光共聚焦显微镜(复合型光学3D表面轮廓仪)应运而生，它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种技术，为表面粗糙度测量提供了更精准、更全面的解决方案。

  SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪的白光干涉模式可测量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度。在测量超光滑表面形貌时，能获得高精度无失真的图像。例如在半导体制造中，对于芯片表面的微观粗糙度测量，白光干涉模式可以精确捕捉到纳米级的表面起伏，为芯片质量控制提供关键数据。

  其粗糙度RMS重复性可达0.005nm（在实验室环境下测量Sa为0.2nm硅晶片，连续10次或以上测量），这在某种程度上预示着测量结果的稳定性和可靠性极高，能够很好的满足高端精密制造业对表面粗糙度测量精度的严格要求。

  可以在单一扫描模式下实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。无论是光学镜片的超光滑表面，还是一些黑色塑料部件的粗糙表面，都能进行相对有效的粗糙度测量。这在3C电子行业中应用广泛，如电子设备屏幕玻璃的粗糙度测量以及手机外壳塑料材质表面粗糙度的检测等。

  共聚焦模式具备尖锐角度测量能力，可测量倾角接近90°的微观形貌。在一些具有复杂形状和尖锐角度的精密器件表面粗糙度测量中具有独特优势。例如在微纳材料及制造领域，对于一些具有特殊形状的微纳结构，共聚焦显微镜模式能够精准测量其表面粗糙度，为微纳材料的研究和应用提供重要数据支持。

  当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，使用共聚焦显微镜模式能轻松实现大角度的3D形貌图像重构。通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，可以获取更全面准确的表面粗糙度信息。这在汽车零部件制造中，对于一些具有复杂形状的零部件表面粗糙度测量和质量控制具备极其重大意义。

  SuperView WT3000白光共聚焦显微镜(复合型光学3D表面轮廓仪)集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜的优点，可以依据不同的测量需求灵活切换测量模式。在测量过程中，既可通过白光干涉模式的高精度测量超光滑表面，又可以切换到共聚焦显微镜模式测量具有尖锐角度的粗糙表面，为用户更好的提供了更便捷、更全面的测量解决方案。

  可提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。这使得测量结果更具权威性和可比性，无论是在国内还是国际市场上，都能满足多种用户对表面粗糙度测量结果评价的需求。

  SuperView WT3000白光共聚焦显微镜(复合型光学3D表面轮廓仪)通过集成白光干涉仪和共聚焦显微镜的优点，在表面粗糙度测量方面表现出了卓越的性能。它能够很好的满足半导体制造、3C电子、光学加工等多个行业对表面粗糙度测量的高精度、广泛测量范围以及多角度测量等需求。从“制造”到“智造”，随着科学技术的慢慢的提升，这种复合型的测量仪器将在更多领域发挥及其重要的作用，为提升产品质量和推动行业发展提供有力的技术上的支持。